Qualifizierung der Kupfer-Drahtbondtechnologie für integrierte Leistungsmodule in harschen Umgebungsbedingungen
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ArtikelSerie: Utgivningsinformation: Erlangen FAU University Press 2019Beskrivning: 1 electronic resource (169 p.)Innehållstyp: - text
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- 9783961471454
- 9783961471461
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Leistungselektronische Schalter sind Stellglieder globalen Megatrends. Die derzeitige Aufbau- und Verbindungstechnik kann jedoch mit den gestiegenen technologischen und wirtschaftlichen Anforderungen nicht Schritt halten. Diese Arbeit qualifiziert die Kupfer-Drahtbondtechnologie für leistungselektronische Anwendungen. Im Fokus stehen eine materialseitige Anpassung des Bondprozesses sowie die Integration des Kupferbondprozesses in eine variable und robuste Fertigungsumgebung.
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